Högpresterande IGS-ytmonterade C-tätningsfilter för halvledargasleveranssystem
Beskrivning
HENGKOs ytmonterade filter är utformade för att möta de krävande kraven från integrerade gassystem som används i OEM-verktyg för halvledartillverkning. Dessa filter erbjuder branschledande filtrering vid 0,003 µm och säkerställer exceptionell prestanda och tillförlitlighet med en partikelavfångningseffektivitet på ≥99,9999999 % (9-LRV) vid 120 slpm.
Dessa filter är tillverkade av robust 316L rostfritt stålpulver sintrat för filterelementet och huset och uppfyller SEMI F86-0304-specifikationerna. De har tvåportskomponenter skräddarsydda för 1,125-tums gasdistributionssystem med C-tätningskonfiguration. De stöder ett maximalt inloppstryck på 3,4 MPa vid 100 °C och en maximal driftstryckskillnad på 0,69 MPa vid 100 °C.
Dessa specialfilter, kompatibla med både C-typ och W-typ tätningsspecifikationer, uppnår renhet nedströms med partikelfrisättning av
Med en ytfinish på Ra< 1,6 µm på utsidan och RaMed en invändig tjocklek på < 0,13 µm är de konstruerade för att motstå höga temperaturer upp till 460 °C. Dessa filter är konstruerade för enkel integration och modulära designuppgraderingar, förenklar installation och underhåll, vilket hjälper till att optimera systemprestanda i halvledargasleverans- och styrapplikationer.
Produktfunktion
▶ Helhetskonstruktion i 316L rostfritt stål
▶ Miniatyriserad design, kompakt struktur, platsbesparande
▶ Utmärkta gasersättnings- och desorptionsegenskaper
▶ Hög temperatur, högt tryck och korrosionsbeständig
▶ Elektropolerat hölje i 316L rostfritt stål
▶ Enkel och effektiv installation och underhåll
▶ Mekanisk tätning, strukturellt osvetsad till mediet
Datablad
| Tekniska parametrar | Värden |
|---|---|
| Filterelementmaterial | 316L sintrat pulver i rostfritt stål |
| Höljets material | 316L rostfritt stål |
| Maximalt inloppstryck | 3,4 MPa vid 100°C |
| Maximal driftsdifferential | 0,69 MPa vid 100°C |
| Verifiering av läckagehastighet för helium | 1x10⁻¹¹ cc/min |
| Heliumtestläckage | 1x10⁻⁹ cc/min |
| Ytbehandling | Yttre yta Ra< 1,6 μm |
| Inre yta Ra< 0,13 μm | |
| Maximal driftstemperatur | 460°C |
| Effektivitet vid partikelavlyssning | ≥99,9999999 % (9-LRV) vid 120 slpm (referens-MPPS, alla partiklar) |
| Nedströms renlighet | Partikelutsläpp:< 0,03 partiklar/liter (< 1 partikel/ft³) |
| Flyktiga ämnen:< 10 ppb fukt | |
| Partikelavlyssningsstorlek | ≥0,003 μm |
| Flödesområde | 0 ~ 120 slpm |
Storlek
Här är artikelnumret du kan beställa och storleksinformation:
| Produktmodell | Flödeshastighet | Höjd H (mm) | Filtreringsprecision | Rengöringsnivå |
|---|---|---|---|---|
| Z01B-00637 | 10 slpm | 51,6 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00638 | 40 slpm | 82,9 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00687 | 80 slpm | 126,2 | 0,003 μm | C |
| Z01B-00688 | 120 slpm | 167,9 | 0,003 μm | C |
Typiska tillämpningar
För användning med W-tätning och C-tätning, modulära gasleveranssystem för ytmontering på 1,125” och 1,5”.
Skicka ditt meddelande till oss:
