Högrenhetsfiltrering för ultraren halvledartillverkning
Beskrivning
Högflödesgasfilter – Specifikt utformat för ultrahög renhet i processgaser inom halvledartillverkning. Precisionstillverkat av rostfritt stål (316L) har det en design med flera kolumner eller staplade skivmedier för att säkerställa lågt motstånd vid höga flödeshastigheter, med en filtreringsnoggrannhet på upp till 0,003 μm för att uppfylla kraven på ultrahög renhet. Helmetallkonstruktionen gör det till en idealisk filtreringslösning för dynamiska miljöer med hög temperatur.
Produktfunktion
▶Alla 316L rostfria stålstrukturer— Garanterar hållbarhet och korrosionsbeständighet.
▶Hög flödeshastighet, lågt motstånd— Optimerad för högt flöde med minimal tryckförlust.
▶Ultrahög partikelretentionseffektivitet— Utmärkt för att upprätthålla ultrarena förhållanden.
▶Resistent mot höga temperaturer, tryck och korrosion— Lämplig för tuffa miljöer.
▶Kompatibel med olika processgaser— Mångsidig för en mängd olika industriella tillämpningar.
▶Idealisk för tillverkning, testning och förpackning i renrum— Perfekt för användning i kontrollerade miljöer.
▶100 % integritetstestning— Varje filter genomgår omfattande integritetstester för kvalitetssäkring.
▶100 % heliumläckagetestning— Verifierad genom heliumläckagetestning för att säkerställa tillförlitlighet i kritiska applikationer.
Datablad
Tekniska parametrar
| Parameter | Specifikation |
|---|---|
| Filterelementmaterial | 316L rostfritt stål pulver sintrat |
| Höljets material | 316L rostfritt stål |
| Max inloppstryck | 207 bar |
| Max driftsdifferentialtryck | 5,2 bar |
| Heliumvalideringsläckagehastighet | 2 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Läckagehastighet för heliumtestning | 1 x 10⁻¹⁰ cc/min |
| Ytbehandling | |
| Yttre yta | Ra < 1,6 μm |
| Inre yta | Ra < 0,2 μm |
| Max driftstemperatur | |
| Inert gas | 400-500 ℃ |
| Frätande och reaktiv gas | 50 ℃ |
| Partikelretentionseffektivitet | ≥99,9999999 % (9LRV) @ 30 slpm |
| Nedströms renlighet | ≤0,03 partiklar/liter @ > 0,01 μm, 30 slpm |
| Partikelretentionsstorlek | ≥0,003 μm |
Storlek
Här är artikelnumret du kan beställa och storleksinformation:
| Produktmodell | Filterelementmaterial | Filtreringsnoggrannhet (μm) | Anslutningstyp |
|---|---|---|---|
| Z01B-00647 | 316L rostfritt stål | 10~0,003 | 1/4” |
| Z01B-00648 | 316L rostfritt stål | 10~0,003 | 1/2” |
| Z01B-00649 | 316L rostfritt stål | 10~0,003 | 1/8” |
| Z01B-00650 | 316L rostfritt stål | 10~0,003 | 1” |
| Anpassningsbar | 316L rostfritt stål | 10~0,003 | Vid behov |
Typiska tillämpningar
några typiska tillämpningar avHögrenhetsfilter för bulk och allmännyttiga produkterochGasflödesströmfilter vid gasplattan:
1. Halvledartillverkning
*Säkerställer ultraren gasförsörjning för wafertillverkning, etsning och kemisk ångdeponering (CVD).
*Bibehåller hög renhet i bulkgasdistributionssystem för kväve, argon och andra bärgaser.
2. Läkemedelsproduktion
*Ger steril och partikelfri gas för kritiska tillverkningsmiljöer.
*Stöder högrenhetsfiltrering för renrum och kontrollerade miljöer för att bibehålla produktens integritet.
3. Laboratoriegas-system
*Används i laboratoriemiljöer för att rena gasströmmar i analysutrustning som gaskromatografi och masspektrometri.
*Säkerställer högrena gaser för forsknings- och testtillämpningar, vilket skyddar känsliga instrument.
4. Livsmedels- och dryckesbearbetning
*Filtrerar CO₂ och andra gaser som används vid kolsyraning, förpackning och lagring, vilket upprätthåller livsmedelssäkerhet och kvalitet.
*Säkerställer kontamineringsfri gasförsörjning i processanläggningar, särskilt för bulkgasföretag.
5. Olje- och gasindustrin
*Renar naturgasströmmar i gasfiltrering och avlägsnar föroreningar före lagring eller transport.
*Skyddar nedströms utrustning genom att avlägsna partiklar, fukt och föroreningar i högtryckssystem för gasflöde.
6. Kemisk tillverkning
*Filtrerar nyttogaser som kväve och argon som används i kemisk syntes och reaktioner.
*Bibehåller gasens renhet för att förhindra kontaminering och reaktionsinkonsekvenser.
7. Flyg- och rymdfart och försvar
*Levererar högrena gaser i tillverknings- och testmiljöer för material och komponenter inom flyg- och rymdindustrin.
*Säkerställer jämn gasrenhet i kontrollerade miljöer för montering av flygplan och försvarsutrustning.
8. Energiproduktion (kraftverk)
*Filtrerar högtrycksgaser för kylning och processtillämpningar, särskilt i högtemperaturmiljöer.
*Ökar effektiviteten och minskar slitage på utrustningen genom att förhindra kontaminering i gaskylning och flödessystem.
Dessa fFilter är viktiga i alla tillämpningar som kräver rent och jämnt gasflöde, vilket förbättrar utrustningsskyddet,
processeffektivitet och slutproduktkvalitet inom alla branscher.
Skicka ditt meddelande till oss:
