Avancerade IGS ytmonterade C-tätningsfilter för ultrarena halvledargassystem

Kort beskrivning:

Stämpla:HENGKO

Filternamn:IGS ytmonterat C-tätningsfilter

Material:SS 316L

Flödeshastighet:10 ~ 120 SLPM

Max driftstemperatur:460°C

Partikelborttagningsstorlek:> 0,003 μm

Skicka e-post till oss Tillbaka till underkategorier

Produktinformation

Produktetiketter

Beskrivning

HENGKOs ytmonterade filter är utformade för att möta de krävande kraven från integrerade gassystem som används i OEM-verktyg för halvledartillverkning. Dessa filter erbjuder branschledande filtrering vid 0,003 µm och säkerställer exceptionell prestanda och tillförlitlighet med en partikelavfångningseffektivitet på ≥99,9999999 % (9-LRV) vid 120 slpm.

Dessa filter är tillverkade av robust 316L rostfritt stålpulver sintrat för filterelementet och huset och uppfyller SEMI F86-0304-specifikationerna. De har tvåportskomponenter skräddarsydda för 1,125-tums gasdistributionssystem med C-tätningskonfiguration. De stöder ett maximalt inloppstryck på 3,4 MPa vid 100 °C och en maximal driftstryckskillnad på 0,69 MPa vid 100 °C.

Dessa specialfilter, kompatibla med både C-typ och W-typ tätningsspecifikationer, uppnår renhet nedströms med partikelfrisättning av

Med en ytfinish på Ra< 1,6 µm på utsidan och RaMed en invändig tjocklek på < 0,13 µm är de konstruerade för att motstå höga temperaturer upp till 460 °C. Dessa filter är konstruerade för enkel integration och modulära designuppgraderingar, förenklar installation och underhåll, vilket hjälper till att optimera systemprestanda i halvledargasleverans- och styrapplikationer.

Produktfunktion

▶ Helhetskonstruktion i 316L rostfritt stål
▶ Miniatyriserad design, kompakt struktur, platsbesparande
▶ Utmärkta gasersättnings- och desorptionsegenskaper
▶ Hög temperatur, högt tryck och korrosionsbeständig
▶ Elektropolerat hölje i 316L rostfritt stål
▶ Enkel och effektiv installation och underhåll
▶ Mekanisk tätning, strukturellt osvetsad till mediet

Högpresterande IGS-ytmonterade C-tätningsfilter för halvledargasleveranssystem

Datablad

Tekniska parametrar	Värden
Filterelementmaterial	316L sintrat pulver i rostfritt stål
Höljets material	316L rostfritt stål
Maximalt inloppstryck	3,4 MPa vid 100°C
Maximal driftsdifferential	0,69 MPa vid 100°C
Verifiering av läckagehastighet för helium	1x10⁻¹¹ cc/min
Heliumtestläckage	1x10⁻⁹ cc/min
Ytbehandling	Yttre yta Ra< 1,6 μm
	Inre yta Ra< 0,13 μm
Maximal driftstemperatur	460°C
Effektivitet vid partikelavlyssning	≥99,9999999 % (9-LRV) vid 120 slpm (referens-MPPS, alla partiklar)
Nedströms renlighet	Partikelutsläpp:< 0,03 partiklar/liter (< 1 partikel/ft³)
	Flyktiga ämnen:< 10 ppb fukt
Partikelavlyssningsstorlek	≥0,003 μm
Flödesområde	0 ~ 120 slpm