Halvledarfilter

Halvledargasfilter:

Säkerställer oklanderlig gasrenhet vid flistillverkning

I halvledartillverkningens komplicerade värld, där precision och renhet är av största vikt, är kvaliteten på

gaser som används spelar en avgörande roll för att bestämma processens framgång. Föroreningar, även på oändliga nivåer,

kan orsaka förödelse på mikrochips känsliga kretsar, vilket gör dem defekta och oanvändbara. För att skydda

denna kritiska process, halvledargasfilter står som orubbliga väktare och tar noggrant bort föroreningar

och säkerställa den orörda kvaliteten på gaser som strömmar genom tillverkningslinjerna.

Det finns många utmärkta egenskaper och fördelar med sintrade metallfilter

1. Tillverkad i en toppmodern renrumsmiljö

Dessa filter är födda i ett toppmodernt renrum, en miljö där obefläckade förhållanden noggrant upprätthålls för att minimera eventuell förorening. De genomgår en rigorös tillverkningsprocess, som börjar med precisionssvetsning under en atmosfär av renad luft. En efterföljande spolning av avjoniserat vatten, följt av en högtrycksfiltrerad kvävgasrensning, eliminerar eventuella kvardröjande partiklar och minskar risken för partikelavfall.

2. Exceptionell partikelborttagningseffektivitet

Med en anmärkningsvärd filtreringseffektivitet på 9 LRV för 0,003 μm partiklar, som följer de stränga standarder som fastställts av SEMI F38 och ISO 12500 testmetoder, tar dessa filter effektivt bort alla korrosionsgenererade partiklar och partiklar som genereras från rörliga delar, vilket säkerställer den orörda renheten hos gaser.

3. Överlägsen mekanisk styrka

Dessa filter är rigoröst testade för att garantera exceptionell motståndskraft i krävande tillverkningsprocesser och miljöer som ofta använder höga gastryck, och ger orubblig prestanda under hela deras livslängd.

4. Att överskrida de högsta industristandarderna

Dessa filter överträffar de stränga filtreringskraven för gashantering för halvledarbearbetning och genomgår rigorösa tester för att garantera att de uppfyller den kritiska filtreringseffektiviteten, exakta flödeskontroll och säkerhetsstandarder som krävs av gasleveranssystem inom halvledartillverkning.

5. Orubbligt engagemang för säkerhet

För att skydda mot exponering för brandfarliga, frätande, giftiga och pyrofora processgaser genomgår filterhusen noggranna läckagetest, vilket säkerställer att de uppnår en anmärkningsvärd läckagehastighet på mindre än 1x10-9 atm sccc/sekund. Detta orubbliga engagemang för säkerhet säkerställer att farliga gaser begränsas och förhindras från att orsaka skada.

6. Kompromisslös renhet för utmärkt flistillverkning

Genom sina exceptionella filtreringsförmåga, orubbliga engagemang för säkerhet och efterlevnad av de högsta industristandarderna, spelar dessa gasfilter en avgörande roll för att skydda den komplicerade processen med halvledartillverkning. De står som renhetens väktare och säkerställer att endast de renaste gaserna strömmar genom tillverkningslinjerna, vilket banar väg för skapandet av högpresterande mikrochips som driver vår moderna värld.

Typer av halvledarfilter

Halvledarfilter används i en mängd olika applikationer, inklusive:

* Elektroniktillverkning:

Halvledarfilter används för att ta bort partiklar från ultrarent vatten, gaser och kemikalier som används vid tillverkning av halvledare.

* Kemisk mekanisk planarisering (CMP):

Halvledarfilter används för att ta bort partiklar från CMP-slam, som används för att polera halvledarskivor.

* Biomedicinsk:

Halvledarfilter används för att ta bort partiklar från vätskor som används i medicinsk diagnostik och behandlingar.

* Miljö:

Halvledarfilter används för att ta bort partiklar från luft och vatten.

Det finns fyra huvudtyper av halvledarfilter:

1. Membranfilter:

Membranfilter är gjorda av en tunn, porös film som tillåter vätskor att passera igenom samtidigt som de fångar partiklar.

 

Membranfilter för halvledare

 

 

2. Djupfilter:

Djupfilter är gjorda av en tjock, slingrande bädd av material som fångar partiklar när de strömmar genom filtret.

 

Djupfilter för halvledare

 

 

3. Adsorbentfilter:

Adsorbentfilter är gjorda av ett material som attraherar och håller fast partiklar.

 

 Adsorbentfilter för halvledare

 

 

4. Sintrade metallfilter

Sintrade metallfilter är en typ av djupfilter som vanligtvis används i halvledartillverkning. De tillverkas genom att sintra fint metallpulver till en porös struktur. Sintrade metallfilter är kända för sin höga hållbarhet, höga filtreringseffektivitet och förmåga att motstå höga temperaturer och tryck.

Fördelar med sintrade metallfilter för halvledartillverkning:

* Hög hållbarhet:

Sintrade metallfilter är mycket hållbara och tål tuffa driftsförhållanden, inklusive höga temperaturer, tryck och frätande kemikalier.

 

* Hög filtreringseffektivitet:

Sintrade metallfilter kan ta bort partiklar ner till 0,01 mikron i storlek, vilket är viktigt för att skydda ömtåliga halvledarkomponenter från kontaminering.

* Lång livslängd:

Sintrade metallfilter har lång livslängd och kan enkelt rengöras och återanvändas.

* Kemisk kompatibilitet:

Sintrade metallfilter är kompatibla med ett brett utbud av kemikalier, vilket gör dem lämpliga för användning i en mängd olika halvledartillverkningsprocesser.

Tillämpningar av sintrade metallfilter i halvledartillverkning:

* Gasrening:

Sintrade metallfilter används för att rena gaser som används i halvledartillverkning, såsom kväve, väte och syre.

* Kemisk filtrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera kemikalier som används i halvledartillverkning, såsom syror, baser och lösningsmedel.

* Ultrarent vattenfiltrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera ultrarent vatten som används i halvledartillverkning.

* CMP-slamfiltrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera CMP-slam, som används för att polera halvledarskivor.

Sintrade metallfilter är en viktig del av halvledartillverkningsprocessen och hjälper till att säkerställa produktionen av högkvalitativa halvledarenheter.

 

Vilken typ av halvledarfilter som används i en viss tillämpning beror på storleken på partiklarna som tas bort, typen av vätska som filtreras och den önskade filtreringsnivån.

Här är en tabell som sammanfattar de olika typerna av halvledarfilter:

Filtertyp	Beskrivning	Ansökningar	Bild
Membranfilter	Tillverkad av en tunn, porös film som låter vätskor passera samtidigt som de fångar partiklar.	Elektroniktillverkning, CMP, biomedicin, miljö	Membranfilter för halvledare
Djupfilter	Tillverkad av en tjock, slingrande bädd av material som fångar partiklar när de strömmar genom filtret.	CMP, biomedicin, miljö	Djupfilter för halvledare
Adsorberande filter	Tillverkad av ett material som attraherar och håller fast partiklar.	Elektroniktillverkning, CMP, biomedicin, miljö	Adsorbentfilter för halvledare
Sintrade metallfilter	Tillverkad genom att sintra fint metallpulver till en porös struktur.	Gasrening, kemisk filtrering, ultrarent vattenfiltrering, CMP-slamfiltrering	Öppnas i ett nytt fönsterwww.hengko.com Sintrade metallfilter för halvledare

Ansökan

Halvledargasfilter av sintrade metall används i stor utsträckning i en mängd olika tillämpningar inom halvledarindustrin. Deras unika egenskaper, såsom hög filtreringseffektivitet, hållbarhet och förmåga att motstå höga temperaturer och tryck, gör dem till en väsentlig komponent i gastillförselsystem vid halvledartillverkning.

Här är några av de specifika tillämpningarna av sintrade metallhalvledargasfilter:

1. Waferproduktion:

Sintrade metallfilter används för att rena gaser som används i waferproduktion, såsom kväve, väte och syre. Dessa gaser är viktiga för processer som epitaxiell tillväxt, etsning och dopning.

2. Kemisk filtrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera kemikalier som används i halvledartillverkning, såsom syror, baser och lösningsmedel. Dessa kemikalier används för en mängd olika ändamål, inklusive rengöring, etsning och polering.

3. Ultrarent vattenfiltrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera ultrarent vatten (UPW) som används vid halvledartillverkning. UPW är viktigt för rengöring och sköljning av wafers, samt för att bereda kemikalier.

4. CMP-slamfiltrering:

Sintrade metallfilter används för att filtrera CMP-slam, som används för att polera halvledarskivor. CMP är en kritisk process vid tillverkning av mikrochips.

5. Point-of-use (POU) filtrering:

Sintrade metallfilter används ofta som POU-filter, som installeras direkt vid användningsstället för att ge den högsta nivån av filtrering. POU-filter är särskilt viktiga för applikationer där gasens renhet är kritisk, såsom vid tillverkning av mikroprocessorer och andra högpresterande enheter.

6. Gashantering med hög renhet:

Sintrade metallfilter används i gashanteringssystem med hög renhet för att avlägsna föroreningar från gaser som används vid halvledartillverkning. Dessa föroreningar kan innefatta partiklar, fukt och organiska föreningar.

7. Tillverkning av mikroelektronik:

Sintrade metallfilter används vid tillverkning av mikroelektronik, såsom datorer, surfplattor, mobiltelefoner, IoT-sensorer och kontrollenheter.

8. Filtrering av mikroelektromekaniska system (MEMS):

Sintrade metallfilter används i MEMS-filtrering, som är processen för att avlägsna föroreningar från mikroelektromekaniska system. MEMS används i en mängd olika applikationer, inklusive sensorer, ställdon och givare.

9. Filtrering av datalagringsenheter:

Sintrade metallfilter används vid filtrering av datalagringsenheter, vilket är processen för att ta bort föroreningar från datalagringsenheter, såsom hårddiskar och solid-state-enheter.

Utöver dessa specifika applikationer används sintrade metallhalvledargasfilter också i en mängd andra applikationer inom halvledarindustrin. Deras mångsidighet och tillförlitlighet gör dem till ett viktigt verktyg för halvledartillverkare.

Letar du efter sintrade metallhalvledargasfilter av högsta kvalitet?

HENGKO är din favoritpartner för OEM-lösningar inom tillverkning av halvledarsystem.

Våra precisionskonstruerade filter säkerställer tillförlitlighet och effektivitet i dina processer, vilket ger dig fördelen på en konkurrensutsatt marknad.

Varför välja HENGKOs filter?

* Överlägsen kvalitet och hållbarhet
* Skräddarsydda lösningar för att passa dina specifika behov
* Förbättrad prestanda för halvledartillverkning

Låt inte filtreringsutmaningar hålla tillbaka din produktion.

Kontakta oss idag för att utforska hur våra sintrade metallfilter kan revolutionera ditt tillverkningssystem.

Kontakta oss påka@hengko.com

Samarbeta med HENGKO och ta ett steg mot excellens inom halvledartillverkning!