Temperatur- och luftfuktighetssensor för halvledarkontrollschema för renrumstemperatur

Produktutställning

Temperaturenochluftfuktigheten i det rena utrymmet bestäms huvudsakligen enligt processkraven, men under förutsättning att processkraven uppfylls bör känslan av komfort beaktas.Med förbättringen av kraven på luftrenhet har det funnits en trend med allt hårdare krav på temperatur och luftfuktighet.
Eftersom bearbetningsnoggrannheten är mer och mer fin, så blir temperaturfluktuationsområdet mindre och mindre.Till exempel, i den litografiska exponeringsprocessen för storskalig produktion av integrerade kretsar, måste skillnaden i termisk expansionskoefficient mellan glas och kiselskiva som maskmaterial vara mindre och mindre.Diameter 100 um kiselskiva, temperaturökning 1 grad, kommer att orsaka 0,24um linjär expansion, så det måste finnas en temperatur på ±0,1 grad, samtidigt är luftfuktigheten generellt sett låg, eftersom människor svettas, produkten kommer att ha föroreningar, speciellt rädd för natrium halvledarverkstad, bör denna verkstad inte överstiga 25 grader.
Hög luftfuktighet orsakar fler problem.När den relativa luftfuktigheten överstiger 55 % bildas dagg på kylvattenrörets vägg, vilket kommer att orsaka olika olyckor om det händer i precisionsanordningar eller kretsar.När den relativa luftfuktigheten är 50 % är det lätt att rosta.Dessutom, när luftfuktigheten är för hög, kommer dammet som fastnar på kiselchippets yta att adsorberas kemiskt på ytan för att motstå borttagning.Ju högre den relativa luftfuktigheten är, är vidhäftningen svår att ta bort, men när den relativa luftfuktigheten är lägre än 30 % är partiklarna lätta att adsorbera på ytan på grund av inverkan av elektrostatisk kraft, och ett stort antal halvledarenheter är benägen för sammanbrott.Det optimala temperaturintervallet för waferproduktion är 35-45%.

Därför är kontrollen av temperatur och luftfuktighet särskilt viktig, HENGKO kan förse dig med en serie avskräddarsydda bearbetningslösningar för temperatur- och luftfuktighetsgivare!

Temperatur- och luftfuktighetssensor för halvledarkontrollschema för renrumstemperatur

Hittar du inte en produkt som uppfyller dina behov?Kontakta vår säljare förOEM/ODM anpassningstjänster!